業(yè)務范圍:
- 油脂:在多晶硅生產(chǎn)過程中,油分子對多晶硅的危害十分嚴重。實際證明,整個工藝系統(tǒng)幾ppm的油含量就可能造成多晶硅反應速度減慢,產(chǎn)量降低,甚至硅反應停止。因此,多晶硅設備的脫脂工藝尤為重要。
- 水分:水中含有大量的氯離子,氯離子對多晶硅的反應十分敏感。設備及系統(tǒng)干燥工藝很關鍵。
- 氯離子殘留:水和其他溶液在設備表面殘留的氯離子對多晶硅影響十分大。因此,在清洗后對設備進行純水沖洗工藝十分重要。
- 氧化物、灰塵其他雜質(zhì):其他污垢的存在,對多晶硅的生產(chǎn)影響也很大。因此,在設備清洗過程中,采用酸洗工藝對其他污垢進行清洗十分必要。詳細技術訪問科林公司網(wǎng)站:www.kelinsonic.com
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